Bei Dichtheitsprüfungen mit Massenspektrometer wird gewöhnlich Helium als Spürgas verwendet, ein Edelgas, das die für diesen Zweck am besten geeigneten Eigenschaften aufweist:

• es ist ungiftig und unschädlich, geruch- und geschmacklos
• es ist chemisch und physikalisch träge
• es ist nicht brennbar und nicht verbrennungsfördernd
• es verschmutzt nicht und ist umweltfreundlich
• es ist in sehr geringem Anteil in der atmosphärischen Luft vorhanden (5 ppm)
• es hat ein sehr kleines und daher sehr schnelles Molekül (4 amu)
• es kostet wenig
• es kann leicht beschafft werden

Wenn für die Dichtheitsprüfungen eine erhebliche Gasmenge benötigt wird, ist die Verwendung von Rückgewinnungssystemen aus Kostengründen ratsam.

Die für die Durchführung der Prüfung nötige Gasmenge wird im wesentlichen von drei Faktoren beeinflusst:

• Produktionstakt,
• Volumen des Prüflings,
• Prüfdruck

In einigen Fällen ist die Verwendung eines Rückgewinnungssystems bereits ratsam, wenn einer der drei Faktoren einen hohen Wert aufweist. Sie wird zwingend, wenn bereits zwei dieser Faktoren besonders signifikant sind. Durch Rückgewinnungssysteme können die Kosten der Prüfung mit Helium eingeschränkt werden, da sie eine Rückgewinnung von bis zu mehr als 90% des verwendeten Gases gestatten. Die Zweckmäßigkeit kann anhand der Effizienz der Rückgewinnung bewertet werden.

Diese ist um so höher, desto größer die Differenz zwischen dem Prüfdruck und dem Auslass- und Rückgewinnungsdruck ist. In Abhängigkeit der Anforderungen des verwendeten Prüfsystems sind Rückgewinnungssysteme mit spezifischen Eigenschaften und Kapazitäten für unterschiedliche Volumina und Drücke erhältlich. Bei Prüfsystemen, die begrenzte Gasmengen verwenden, ist es oft möglich, mehrere Stationen an das gleiche Rückgewinnungssystem anzuschließen. Das Rückgewinnungssystem weist allgemein einen unabhängigen Betrieb auf und kann auch zur Versorgung bereits existierender Maschinen installiert werden.